· 우수한 열전도도, 내플라즈마성
· 반도체 고정용 AIN Heater 및 부품소재 용도
| Process | AIN Ceramic 사용 반도체 공정 부품 |
|---|---|
| CVD | Heater, ESC, RF-Susceptor, Ring Dome, Dummy Wafer |
| PVD | Heater, ESC, Dummy Wafer |
| ETching | ESC, Shower Plate, Chamber |
| Ashing | RF-Window |
(우)57161 전라남도 함평군 학교면 학교공단길 13-9 | TEL : 061) 320-9000 | FAX : 061) 322-9888 | E-Mail: admin@yj-c.co.kr
Copyright(c) 2015 YJC CO.,Ltd. All Rights Reserved
